傅里葉變換紅外光譜分析儀，MG6030

MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀是以傅里葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水的氣流，能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀操作簡(jiǎn)便，易于維護(hù)。

MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀由2102傅里葉變換紅外制成分光計(jì)，高光通量取樣單元，專(zhuān)業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫(kù)組成。MG 6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫(kù)分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測(cè)量。

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)：

●10ppb~100%靈敏度對(duì)于絕大多數(shù)有毒有害氣體

●易于移動(dòng)從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘

●同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體

●分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，省去了氣體筒的成本

●取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度

●線(xiàn)性檢測(cè)器，確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下

●頻率和分辨率診斷，確保校準(zhǔn)恒定

●提供自動(dòng)溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度

●用戶(hù)操作簡(jiǎn)便軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作

分析儀主機(jī)

測(cè)試技術(shù)                         傅里葉變換紅外光譜

可測(cè)試氣體或水蒸氣        絕大多數(shù)分子除了氮?dú)?，氧氣和氫?/span>

范圍                                濃度從10ppb到100%

傅里葉變換紅外               2102制成傅里葉變換紅外

光譜分辨率                      0.5 - 128cm-1

掃描速度                         每秒5次在0.5cm-1

掃描時(shí)間                         1 – 300秒

紅外源                            碳化硅在1200℃

參考激光                         氦氖（15798.2cm-1）

檢測(cè)器                            液氮冷卻MCT或半導(dǎo)體制冷冷卻MCT（汞-鎘-碲化物）

清潔(Purge)壓力             最大20PSI(1.5bar)

光譜室Purge流量            0.2升/分，干燥氮?dú)饣蚵饵c(diǎn)在-70℃以下無(wú)二氧化碳的干燥空氣

光學(xué)系統(tǒng)Purge流量         0.2升/分，干燥氮?dú)饣蚵饵c(diǎn)在-70℃以下無(wú)二氧化碳的干燥空氣

壓力傳感器                     MKS Baratron 電容式薄膜壓力傳感器

Purge連接                      Swagelok 快速接頭

電腦要求                        臺(tái)式或筆記本電腦帶Intel奔騰 處理器,微軟Wingdows； XP操作系統(tǒng)，1024 X 768顯示

通訊口                           RJ-45交叉以太網(wǎng)

輸出選件                        XML，模擬，AK，其他

尺寸                              445mm寬 *318mm高 * 648mm深

安裝                              可安裝于19英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜

電源                              110V或220V，50/60hz，3A

重量                              50公斤

分析儀采樣參數(shù)

采樣溫度                 室溫至200℃（取決于校準(zhǔn)溫度）

采樣速流                 0.2 – 10升/分

采樣壓力                 0.01 – 4大氣壓（取決于校準(zhǔn)壓力）

結(jié)構(gòu)                        鍍鎳鋁，或316不銹鋼焊接選件

接頭                        Swagelok?或VCR?

采樣壓力                 1個(gè)大氣壓（取決于校準(zhǔn)壓力）

管道                        加熱不銹鋼

窗口                        KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)

“O"型密封圈        Viton(其他可選)

檢測(cè)極限

5.11米氣室，MCT檢測(cè)器在0.5cm-1分辨率下，下列典型氣體檢測(cè)數(shù)據(jù)為：